예방 및 점검의 이해
확산 장비의 가동률을 증가시켜 생산량을 확보하기 위해서는 확산 장비에 대한 적절한 유지·보수가 필요함
확산장비의 유지·보수 - 각 모듈과 파트의 교환주기, 보정주기, 점검주기등 세부항목을 선정 및 관리, 보완의 활동을 계속해야함
확산 장비의 유지·보수하는데 주어진 Spec.을 철저히 준수하고 절차에 따라 시행해야함
임의의 행동으로 조치하거나 변경해서는 안됨
예방정비의 개념
PM (Preventive maintenance)
장비의 성능을 유지시키고, 고장의 발생을 사전에 방지하는 활동으로 장비의 수명을 연장하고 생산성을 향상시킴
성능정검, 부품 교체 및 수리, 청소
장비가 원하는 성능으로 가동될 수 있도록 하는 활동
예방정비(PM)의 활동내용
주기적인 예방 점검 항목을 인지하고 일정과 절차에 따라 실시
기준에 맞지 않는 사항이 있으면 고장 또는 이상 발생에 대한 조치 실시
PM 일지 작성
고장 또는 이상 발생에 대한 원인 분석 및 영향 평가
조치 사항 및 결과와 대책을 정리하여 보고서 작성
예방 정비 활동의 유의점
항목, 실시방법, 주기 등이 부적절하거나 비경제적일 경우 - 기술적으로 보다 나은 방법의 적용이 가능함
기준의 변경 등으로 현행의 PM 방법을 수정할 필요성이 발생한 경우 - ISO가 규정한 표준 변경 절차에 따라 변경함
통계적 분석 활용
PM 활동의 Data를 축적하고 통계적으로 해석
이상값과 추세 등을 진단 및 예측하며 보고를 통해 정보 공유
과학적이고 체계적인 장비 유지/개선 사례 및 노하우 축적
확산장비 유지·보수 주기
일일 유지 보수 (Daily)
- 냉각수 유량 확인
- 비개량확인(열배기)
- 구동용 AIR 압력 확ㅇ니
- 공정 가스 압력 확인
- 희석용 질소 유량 확인
- 가스 캐비넷(Cabinet) 배기 확인
- 펌프용 냉각수 유량 및 펌프 질소 PURGE 유량 확인
- 제어계통 확인
주기는 필요에 따라 변경할 수 있으며, 문제 발생 시 관련 항목에 대한 점검을 해야함
월간 유지 보수 (Monthly)
펌프 오일 확인
펌프 전류자 확인
분기별 유지·보수 (Quaterly)
- MFC, MFM 동작 확인
- 작동기계의 구동 Air 압력의 확인 및 조정
- LOADING JIG의 상태 확인
- 냉각수 유량 저하 ALARM의 동작 확인
6개월간 유지·보수(Half Year)
누수확인 히터 단자 확인
AUTODOOR SAFETY SENSOR의 동작 확인
BOAT ELEVATOR Z 축 Breaker ALC Sensor 동작 확인
히터 단자 절연 저항 측정
연간 유지 보수 (Annually)
외부 열전대(T/C) 교환
장비 Clean Air Flow 동작 확인
Cassette Transfer 검사
Boat Elevator/Main Controller 확인
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