CLEANING 장비의 가동률을 증가시켜 생산량을 확보하기 위해서는 CLEANING 장비에 대한 적절한 유지·보수가 필요함
각 모듈과 파트의 교환주기, 보정주기, 점검주기 등 세부항목을 선정 및관리, 보안 활동을 계속해야함
예방 및 점검의 이해
CLEANING 장비의 유지·보수하는데 주어진 Spec.을 철저히 준수하고 절차에 따라 시행해야함
임의의 행동으로 조치하거나 판단하면 안됨
PM의 개념
장비의 성능을 유지시키고, 고장의 발생을 사전에 방지하는 활동으로 장비의 수명을 연장하고 생산성을 향상시킴
성능점검, 부품 교체 및 수리, 청소
장비가 원하는 성능으로 가동될 수 있도록 하는 활동
PM의 활동내용
주기적인 예방 점검 항목을 인지하고, 일정과 절차에 따라 실시
기준에 맞지 않는 사항이 있으면 고장 또는 이상 발생에 대한 조치 실시
PM일지 작성
고장 또는 이상 발생에 대한 원인 분석 및 영향 평가
조치 사항 및 결과와 대책을 정리하여 보고서 작성
PM의 유의점
항목, 실시방법, 주기 등이 부적절하거나 비경제적일 경우 기술적으로 보다 나은 방법의 적용이 필요
기준의 변경 등으로 현행의 PM 방법을 수정할 필요성이 발생한 경우 ISO가 규정한 표준변경 절차에 따라 변경함
통계적 분석 활용
PM 활동의 Data를 축적하고 통계적으로 해석
이상값과 추세 등을 진단 및 예측하며 보고를 통해 정보 공유
과학적이고 체계적인 장비 유지/개선 사례 및 노하우 축적
CLEANING 장비의 유지·보수 주기
일일 유지·보수(Daily)
일정이 정해진 것이 아니라 필요에 따라 변경할 수 있으며, 문제 발생 시관련 항목에 대한 점검을 해야함
- Pressure 및 Leack Check
- 배기량 확인 (열배기)
- 구동용 AIR 압력 확인
- 공정 케미컬 유량 및 가스 압력 확인
- 희석용 질소, 아르곤 유량 확인
- 케미컬 후드 및 가스 캐비닛 배기 확인
- 드레인과 공급Line 확인
- 제어계통 확인
- Robot 구동부 확인
- 기타 각종 게이지 및 유틸리티의 점검 및 조정
월간 유지·보수
로드 락 모듈 각종 센서 및 게이지 확인
펌프오일 확인
펌프 전류자 확인
3개월 유지·보수 (분기별)
MFC, MFM 동작 확인
자동기계의 구동 Air 압력의 확인 및 조정
LOADING JIG의 상태 확인 오링(o-ring)등 구동부 점검
6개월간 유지·보수
누수확인
구동부 단자 확인
AUTO DOOR SAFETY SENSOR의 동작 확인
연간 유지·보수
외부 열전대(T/C) 교환
장비 CLEAN AIR FLOW 동작 확인
CASSETTE TRANSFER 검사
MAIN CONTROLLER 검사
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