16. CMP 장비의 유지보수 방법

유지보수

 

PM의 개념

장비의 성능을 유지시키고, 고장의 발생을 사전에 방지하는 활동으로 장비의 수명을 연장하고 생산성을 향상시킴

성능점검, 부품 교체 및 수리, 청소

장비가 원하는 성능으로 가동될 수 있도록 하는 활동

 

PM의 활동내용

주기적인 예방 점검 항목을 인지하고, 일정과 절차에 따라 실시

기준에 맞지 않는 사항이 있으면 고장 또는 이상 발생에 대한 조치 실시

PM일지 작성

고장 또는 이상 발생에 대한 원인 분석 및 영향 평가

조치 사항 및 결과와 대책을 정리하여 보고서 작성

 

PM의 유의점

항목, 실시방법, 주기 등이 부적절하거나 비경제적일 경우 기술적으로 보다 나은 방법의 적용이 필요

기준의 변경 등으로 현행의 PM 방법을 수정할 필요성이 발생한 경우 ISO가 규정한 표준변경 절차에 따라 변경함

 

통계적 분석 활용

PM 활동의 Data를 축적하고 통계적으로 해석

이상값과 추세 등을 진단 및 예측하며 보고를 통해 정보 공유

과학적이고 체계적인 장비 유지/개선 사례 및 노하우 축적

 

CMP 장비 유지보수 주기 및 항목

 

PM 주기 및 항목

 

소모성 파트

CMP 공정에는 소모성 파트가 많이 있어서 특히 중요하다.

장비별 관리도 필요하다.

RPM(플레이튼, 헤드 ,패드 컨디셔너), 슬러리 유량, 압력(다운포스, 배압, 디스크), 각 구성품의 수명 필터 등을 검사해야 한다.

 

장비 유지보수 항목

1. Load/Unload Station
2. Primary/Final Heat Exchange
3. Primary/Final Platen
4. Polish Arm
5. Slurry System
6. Pad conditioner system
7. Fluid System
8. Clean Station
9. Power Distribution(High & Low Cabinet)
10. Thickness Measurement (in-situ)