산화 및 확산 공정 주요 모듈

산화공정의 종류

사용하는 산화제에 따라 나눌 수 있음

건식산화

산소를 반응로 내부로 주입하여 산소와 실리콘을 반응시켜 실리콘 산화막을 형성하는 방법

습식산화

Pyro 수증기를 반응로 내부로 주입하여 수증기와 실리콘을 반응시켜 실리콘 산화막을 형성하는 방법

반응 Gas는 MFC를 통과하면서 지정된 양만큼 공급됨

Boat - 실리콘 웨이퍼를 탑재하는 장치

Torch - 수소와 산소를 반응시켜 수증기를 발생시키는 장치

MFC - 가스의 유량을 조절하는 장치

진공펌프 내부를 저압 상태로 유지함

압력조절장치(APC) - 펌프와 반응로 사이에 있는 것으로 압력을 조절함

Tube

APC(Auto Pressure Controller) - Tube내의 압력을 조절하는 장치

공정에 따른 APC의 종류

Butterfly방식, N2 Ballast방식

Inner Tube vs Outer Tube

Inner Tube - 반응 Gas의 흐름을 구분하기 위한 석영관 위가 open

Outer Tube - 반응로 내부의 진공을 유지하고 ,반응로 내부를 외부 환경과 격리시키기 위한 석영관

산화로 형태에 따른 구분

웨이퍼가 각각 수평, 수직으로 탑재되어 있음

수평형은 단위면적당 차지하는 크기가 큼 수직형이 작아서 생산성 향상측면에서는 우세한 부분이 있다.